[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201010190605.3 | 申请日： | 2010-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102053498A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 郑知英;郑闵鞠;赵显龙;郑斗瑛;李种和;俞龙植;李廷宇;田桓承 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物，其包括(A)聚苯并噁唑前体，该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合，和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)硅烷化合物；(D)包含交联官能团的酚类化合物；以及(E)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性树脂组合物，包括：(A)聚苯并噁唑前体，包括下述化学式1表示的重复单元、下述化学式2表示的重复单元、或其结合，和在所述聚苯并噁唑前体的至少一个末端的可热聚合官能团；(B)感光性重氮醌化合物；(C)包含交联官能团的酚类化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂：[化学式1]![]()
[化学式2]![]()
其中，在上述化学式1和2中，X1为芳香族有机基团，X2为芳香族有机基团，二价至六价的脂环族有机基团，或下述化学式3表示的官能团，以及Y1和Y2相同或不同，并独立地为芳香族有机基团，或二价至六价的脂环族有机基团，[化学式3]![]()
其中，在上述化学式3中，R1～R4相同或不同，并独立地为取代的或未取代的烷基基团，取代的或未取代的芳基基团，取代的或未取代的烷氧基基团，或羟基基团，R5和R6相同或不同，并独立地为取代的或未取代的亚烷基基团，取代的或未取代的亚芳基基团，以及k为范围为1～50的整数。
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