[发明专利]一种显现碲锌镉红外衬底缺陷的等离子体刻蚀方法

摘要

本发明公开了一种显现碲锌镉红外衬底缺陷的等离子体刻蚀方法，它涉及光电探测器材料检测技术。本发明采用高密度、低能量的诱导耦合等离子体(ICP)增强反应离子刻蚀(RIE)的方法，来显现红外CZT衬底缺陷的技术方案，巧妙地运用了ICP增强RIE刻蚀速率的精确可控性，以及在红外CZT衬底正常区域和缺陷区域的不一致性，有效解决了常规缺陷显现方法存在去除衬底速率不可控、缺陷轮廓菱角模糊的问题。本发明方法具有工艺简单、稳定性好以及显现清晰的特点。

主权项

一种显现碲锌镉红外衬底缺陷的等离子体刻蚀方法，其特征在于包括以下步骤：A.样品清洗：将CZT衬底刻蚀样品(4)分别置于65℃的三氯乙烯、丙酮和酒精三种有机溶剂中清洗；B.使用真空油脂将CZT衬底刻蚀样品(4)粘贴在刻蚀样品台上，而后进行腔体的抽真空，直至真空度达到设定值3×10-5Torr；C.CZT衬底刻蚀样品(4)的ICP增强RIE的工艺气体选用CH4、N2和Ar，配比为1-3∶3-8∶15-30，并使其中的N2、Ar从上进气线圈(8)进入腔体(5)，而CH4从下进气线圈(7)进入腔体(5)；D.等离子体刻蚀功率为300-800W，控制等离子体刻蚀能量的RF功率为5-30W，腔体压力为3-8×10-3Torr，样品台温度为10-30℃。