[发明专利]基板处理装置和基板处理装置的显示方法无效
| 申请号： | 201010180558.4 | 申请日： | 2010-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN102004676A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 中川良彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | G06F11/00 | 分类号： | G06F11/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板处理装置和基板处理装置的显示方法，该基板处理装置包括：控制单元，其对操作画面的显示进行控制，上述操作画面用于操作关于基板处理的信息；和安装部，其用于装备可拆装的外部存储装置，该基板处理装置中，上述控制单元，在上述外部存储装置被安装在上述安装部的情况下，进行控制以使用于拆下所安装的外部存储装置的按钮配置在能按下的位置上，在上述外部存储装置未被安装在上述安装部的情况下，进行控制以使上述按钮不被按下。根据该基板处理装置，能唤起使用者的注意，以使其不会误拆下可拆装的存储介质，并且能够在操作画面上进行能否拆下存储介质的确认。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 显示 方法 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，包括：控制单元，其对操作画面的显示进行控制，上述操作画面用于操作关于基板处理的信息；和安装部，其用于装备可拆装的外部存储装置，上述基板处理装置的特征在于，在上述外部存储装置被安装在上述安装部的情况下，上述控制单元进行控制，以使用于拆下所安装的外部存储装置的按钮配置在能按下的位置；在上述外部存储装置未被安装在上述安装部的情况下，上述控制单元进行控制，以使上述按钮不被按下。
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