[发明专利]一种全光纤位移测量方法及装置

摘要

本发明设计了一种全光纤位移测量方法及装置。该装置包括双频正交线偏振光源、保偏光纤耦合器、光纤偏振器、光电检测器、显微聚焦透镜、反射镜和示波器等。被测物体反射光和反射镜反射光混合后形成拍频信号与基准光产生的拍频信号，两路信号相减后得到位移信息。本发明采用双频激光光源和外差干涉输出，不受光强波动影响，输出为交流信号，可以采用交流放大器放大信号，避免直流偏移等问题，同时采用全光纤结构，不易受环境等外界条件的影响，测量精度高，适用于工厂车间等恶劣环境。

主权项

一种全光纤位移测量方法，其特征在于：光源输出为双频正交线偏振光，通过保偏光纤耦合器分成两束光，一束光通过光纤偏振器和光电检测器接收后形成基准光，产生拍频信号；另一束光被测物体反射和反射镜反射，两反射光混合后形成拍频信号，这两个拍频信号进行相减后得到被测试的位移信息；其具体步骤为：1)双频正交线偏振光源(1)通过保偏光纤耦合器A(2)分成两路光；2)步骤1)中所述两路光中的一路光经光纤偏振器A(8)和光电检测器A(10)输入示波器(12)的输入端A(121)；3)步骤1)中所述两路光中的另一路光经保偏光纤耦合器B(3)分成两路光束，一路光束通过显微聚焦透镜A(4)聚焦于被测物体上，并反射回光纤耦合器B(3)；另一路光束通过显微聚焦透镜B(6)聚焦于反射镜(7)上，并反射回光纤耦合器B(3)；4)通过所述光纤耦合器B(3)的反射光经光纤偏振器B(9)和光电检测器B(11)输入示波器(12)的输入端B(122)；5)将所述示波器(12)的两路输入信号相减，得到被测物体(5)的位移数据。