[发明专利]镀膜装置无效
| 申请号: | 201010176087.X | 申请日: | 2010-05-18 |
| 公开(公告)号: | CN102251218A | 公开(公告)日: | 2011-11-23 |
| 发明(设计)人: | 裴绍凯 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种镀膜装置,其包括一个镀膜腔体、一个设置于该镀膜腔体内且呈放射状的伞架及多个与该伞架相对设置的蒸镀源。该镀膜腔体包括一个底板。每个蒸镀源包括一个固设于该底板的套筒及一个设置于该套筒内且可沿该套筒的轴向移动的移动件。该移动件靠近该伞架的一端设置一个用于收容镀膜原料的承载槽。通过移动该移动件使多个蒸镀源的承载槽到该伞架的距离相等。使所形成的镀膜厚度较为均匀,产品质量较佳。 | ||
| 搜索关键词: | 镀膜 装置 | ||
【主权项】:
一种镀膜装置,其包括一个镀膜腔体、一个设置于该镀膜腔体内且呈放射状的伞架及多个与该伞架相对设置的蒸镀源,该镀膜腔体包括一个底板,其特征在于:该蒸镀源包括一个固设于该底板的套筒及一个设置于该套筒内且可沿该套筒的轴向移动的移动件,该移动件靠近该伞架的一端设置一个用于收容镀膜原料的承载槽,通过移动该移动件使多个蒸镀源的承载槽到该伞架的距离相等。
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