[发明专利]用于制造基板的设备和方法

摘要

在此公开了一种用于制造基板的设备，包括：第一腔室，用于提供绝缘层；第二腔室，包括用于粗加工从第一腔室提供的绝缘层的至少一侧的粗加工辊子、用于将金属层沉积在粗加工后的绝缘层上的蒸发器和用于冲压绝缘层和金属层的冲压辊子；以及第三腔室，用于存储包括金属层的绝缘层，所述金属层被形成在所述绝缘层上，所述绝缘层从第二腔室中被取出。用于制造基板的设备的优点在于能够持续生产基板，从而提高基板的生产率并防止基板被空气污染。本发明还公开了用于制造基板的方法。

主权项

一种用于制造基板的设备，该设备包括：第一腔室，该第一腔室用于提供绝缘层；第二腔室，该第二腔室包括用于粗加工从所述第一腔室提供的所述绝缘层的至少一侧的粗加工辊子、用于将金属层沉积在粗加工后的绝缘层上的蒸发器和用于冲压所述绝缘层和所述金属层的冲压辊子；以及第三腔室，该第三腔室用于存储包括所述金属层的所述绝缘层，所述金属层被形成在所述绝缘层上，所述绝缘层从所述第二腔室被取出。