[发明专利]液晶显示基板及其制造方法和液晶显示器

摘要

本发明公开了一种液晶显示基板及其制造方法和液晶显示器。该方法中至少包括：在待刻蚀薄膜上形成树脂材料层；在树脂材料层中形成第一过孔和第二过孔，第二过孔边缘之间的最短距离大于第一过孔边缘之间的最短距离；进行加热处理以使树脂材料层塌陷，从而使第一过孔的底面边缘向内延伸相连后遮盖第一过孔的底面，且使第二过孔的底面边缘向内延伸并保持间距；对透过第二过孔露出的材料进行刻蚀。本发明利用树脂材料高温塌陷变形的特性，使较小的过孔在塌陷变形时堵塞，而较大过孔保留一定的孔径，在较大过孔下材料被刻蚀时，较小过孔会由于堵塞而保护下面的材料来避免过刻。

主权项

一种液晶显示基板的制造方法，包括在衬底基板上形成导电图案和绝缘层的流程，其特征在于，在衬底基板上形成导电图案和绝缘层流程中对待刻蚀薄膜进行过孔刻蚀的步骤中至少包括：在所述待刻蚀薄膜上形成树脂材料层；在所述树脂材料层中形成第一过孔和第二过孔，所述第二过孔边缘之间的最短距离大于所述第一过孔边缘之间的最短距离；进行加热处理以使所述树脂材料层塌陷，从而使所述第一过孔的底面边缘向内延伸相连后遮盖所述第一过孔的底面，且使所述第二过孔的底面边缘向内延伸并保持间距；对透过所述第二过孔露出的材料进行刻蚀。