[发明专利]一种梳状源极叠层结构有机场效应管无效

专利信息
申请号: 201010162153.8 申请日: 2010-04-04
公开(公告)号: CN101877385A 公开(公告)日: 2010-11-03
发明(设计)人: 彭应全 申请(专利权)人: 兰州大学
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L51/40
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 730000 *** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 发明提出了一种具有梳状源极层叠结构有机场效应管。通过控制有机半导体层的薄膜厚度来控制沟道长度,从而达到缩小沟道长度,减小器件尺寸的目的。即根据不同的器件结构(如顶栅底接触型、底栅底接触型等),先后在衬底(硅或其他柔性衬底)上制备梳状源极薄膜、有机半导体沟道薄膜,以及条状漏极薄膜,其主要特点在于源极、有机导电沟道、漏极三者为层叠结构。通过精确控制有机层的厚度来控制沟道长度,栅极电压透过源极空隙对沟道中载流子的运动进行控制,从而达到制备高性能薄膜场效应晶体管的目的。
搜索关键词: 一种 梳状源极叠层 结构 有机 场效应
【主权项】:
一种梳状源极层叠结构有机场效应管,其特征在于栅极、栅介质、源极、沟道呈层叠结构,通过精确控制有机层的厚度来控制沟道长度,栅极电压透过源极空隙对沟道中载流子的运动进行控制,制备高性能薄膜场效应管。
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