[发明专利]镀膜装置及镀膜方法在审
| 申请号： | 201010160939.6 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN102234767A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王仲培 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置。所述料杆转移装置设置于过渡腔体内。所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体。所述第一料架和第二料架均用于设置所述多个料杆。所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板。所述夹爪用于将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架。所述挡板设置于所述驱动机构，并靠近所述夹爪，所述挡板用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。本技术方案还提供一种镀膜方法。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，其包括过渡腔体、镀膜腔体、阀门、多个料杆、第一料架、第二料架以及料杆转移装置，所述多个料杆用于设置多个工件，所述第一料架和料杆转移装置设置于过渡腔体内，所述第二料架设置于镀膜腔体内，所述阀门连接于所述过渡腔体和镀膜腔体之间，用于在开启时连通过渡腔体和镀膜腔体，并用于在关闭时隔离过渡腔体和镀膜腔体，所述第一料架和第二料架均用于设置所述多个料杆，所述料杆转移装置包括驱动机构、夹爪及挡板，所述夹爪用于在驱动机构驱动下，在过渡腔体和镀膜腔体连通时将所述多个料杆自所述第一料架一一转移至第二料架，或者用于将所述多个料杆自所述第二料架一一转移至第一料架，所述挡板设置于所述驱动机构，并靠近所述夹爪，所述挡板用于将转移过程中从料杆上脱落的工件从所述阀门处移除。
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