[发明专利]一种OLED掩膜板及其应用方法无效
| 申请号： | 201010154259.3 | 申请日： | 2010-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN101831607A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 韦清民 | 申请（专利权）人： | 彩虹显示器件股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 712021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OLED掩膜板及其应用方法，所述掩膜板上横向设置有奇数列槽组；所述槽组由纵向排列的槽组成；掩膜板上槽组之间的距离为两个槽宽；掩膜板横向边缘距离最近的槽组之间的距离为一个槽宽。首先对绿色蒸镀材料进行蒸镀。基板和掩膜板按照常规方法进行对位，对位完后进行蒸镀。在同一蒸镀腔内，将三种不同的蒸镀材料分别设置在不同的蒸镀单元内，以便分时工作。在绿色蒸镀完后，利用确定的位置关系，通过对位伺服电机移动掩膜板到红色对位位置，进行红色蒸镀材料的蒸镀，此时绿色和蓝色蒸镀单元挡板处在关闭状态。同样的道理，实现蓝色材料的蒸镀。本发明使设备结构大大简化，掩膜板数量减少，同时，生产效率有了很大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 掩膜板 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
一种OLED掩膜板，其特征在于：所述掩膜板上横向设置有奇数列槽组；所述槽组由纵向排列的槽组成；掩膜板上槽组之间的距离为两个槽宽；掩膜板横向边缘距离最近的槽组之间的距离为一个槽宽。
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