[发明专利]喷墨打印机中的加热栅极区域结构及制作方法有效
| 申请号： | 201010136674.6 | 申请日： | 2010-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN102198753A | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 南基旭 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛峥;王丽琴 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种喷墨打印机中的加热栅极区域结构及制作方法，该结构应用在打印机的具有垂直折弯墨水通道的打印头中，该打印机的水平方向上的出口为喷嘴，该结构粘附于打印头中在水平方向上面对于喷嘴的内壁上，其特征在于，该结构包括氮化硅层和其上的栅极层，其中，栅极层由崎岖不平的多晶硅材料或金属材料制成。采用本发明提供的方法制作的加热栅极区域结构的热传导效率比较高，使得打印头所产生的墨水滴泡沫越多越容易快速膨胀后从打印头的开启喷嘴里喷出，提高了打印头打印质量。 | ||
| 搜索关键词： | 喷墨打印机 中的 加热 栅极 区域 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
一种喷墨打印机中的加热栅极区域结构，该结构应用在打印机的具有垂直折弯墨水通道的打印头中，该打印机的水平方向上的出口为喷嘴，该结构粘附于打印头中在水平方向上面对于喷嘴的内壁上，其特征在于，该结构包括氮化硅层和其上的栅极层，其中，栅极层由崎岖不平的多晶硅材料或金属材料制成。
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