[发明专利]一种新型的双波混合干涉检测超声振动装置

摘要

本发明公开了一种新型的双波混合干涉检测超声振动的装置及方法。该装置包括一个连续激光源(1)，激光经50/50分束镜(2)分成两路，第一路激光经二分之一波片(3)后，全透射经过偏振耦合镜(4)，透过的光束经过四分之一波片(5)，经凸透镜(6)会聚到试块(7)表面，携带了试块(7)超声振动的光束经试块(7)表面反射经过凸透镜(6)和四分之一波片(5)，该光全反射经过偏振耦合镜(4)，经过二分之一波片(8)射入铌酸锂晶体(9)；第二路激光经反射镜(10)反射，再通过反射镜(11)反射进入铌酸锂晶体(9)；第一路携带了超声振动的信号光和第二路参考光在铌酸锂晶体(9)中形成干涉，干涉后的光经过会聚透镜(12)会聚到光电接收器(13)中。通过此装置，可以将光电接收器(13)接收的光强转化为电信号，经过信号处理可以解调出超声信号，根据该超声振动的信号图可以对材料的特性等做出评价。

主权项

一种新型的双波混合干涉检测超声振动的装置，其特征在于：该装置包括：连续激光源(1)，50/50分束镜(2)，二分之一波片(3)，偏振耦合镜(4)，四分之一波片(5)，凸透镜(6)，检测材料(7)，二分之一波片(8)，铌酸锂晶体(9)，平面镜(10)，平面镜(11)，凸透镜(12)，光电接收器(13)。激光源(1)产生的是波长为532nm的连续激光，激光经50/50分束镜(2)分成两路，第一路激光作为探测光束经二分之一波片(3)后，全透射经过偏振耦合镜(4)，透过的光束经过四分之一波片(5)，再经过凸透镜(6)会聚到试块材料(7)表面，携带了试块(7)表面超声振动的光经试块(7)表面反射，再次经过会聚透镜(6)和四分之一波片(5)，该光束全反经过偏振耦合镜(4)，再经过二分之一波片(8)射入铌酸锂晶体(9)中；第二路激光作为参考光束经反射镜(10)反射，再通过反射镜(11)反射进入铌酸锂晶体(9)中；第一路携带了超声振动的信号光和第二路参考光在铌酸锂晶体(9)中两光波混合干涉，干涉后的光经过凸透镜(12)会聚到光电接收器(13)中。