[发明专利]多足直线压电驱动器与工作台

摘要

本发明属于微型驱动器范围的一种多足直线压电驱动器与工作台。压电驱动器的基板上伸出的方片形驱动足形成梳状结构，粘接在驱动足侧面的方形压电陶瓷片，压电陶瓷片沿厚度方向极化，所有驱动足的端面在一个平面上；将电信号引入压电陶瓷片的电极面，会同时激发驱动足一阶伸缩振动和一阶或二阶弯曲振动，两种振动的耦合作用使得驱动足底面质点做椭圆运动，驱动器多个足底的椭圆振动累积叠加为宏观直线运动。驱动器座安装在工作台基座上，安装在基座上的光栅尺和光栅头为控制系统提供工作台的精确位置，实现对工作台闭环控制。本发明由于采用多足驱动的形式，驱动力将成倍的增大；压电陶瓷片与空气接触面积大，有利于散热；装配方便且成本较低。

主权项

一种多足直线压电驱动器，其特征在于，所述多足直线压电驱动器是在长方体基板上伸出方形驱动足，其结构呈梳状，在驱动足侧面粘接方形压电陶瓷片，所有驱动足的端面在一个平面上；压电陶瓷片沿厚度方向极化，将电信号引入压电陶瓷片的电极面，会同时激发驱动足一阶伸缩振动和一阶或二阶弯曲振动，两种振动的耦合作用使得驱动足底面质点做椭圆运动，这种椭圆运动累积叠加实现驱动器的直线运动。