[发明专利]物理量传感器和物理量计测方法

摘要

本发明的物理量传感器，其以高的分辨能力对物体的位移和速度进行计测，缩短计测所需时间。该物理量传感器包括：对测定对象(10)发射激光的半导体激光器(1)；激光驱动器(4)，其使得所述半导体激光器(1)动作以使振荡波长连续单调增加的第一振动期间和振动波长连续单调减少的第二振荡期间中的至少一种反复出现；光电二极管(2)和电流-电压变换放大部(5)，其检测包含干涉波形的电信号，所述干涉波形由从半导体激光器(1)发射的激光和物体(10)的返回光的自混合效应产生；信号提取部(7)，其对包含在电流-电压变换放大部(5)的输出信号中的干涉波形的周期进行计测；计算部(8)，通过对信号提取部(7)的计测结果和基准周期进行比较来对该计测结果进行修正，并根据修正后的各周期计算物体(10)的位移和速度中的至少一项。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，包括：对测定对象发射激光的半导体激光器；振荡波长调制单元，启动所述半导体激光器，使振荡波长连续单调增加的第一振动期间和振动波长连续单调减少的第二振荡期间中的至少一种反复出现；检测单元，其检测包含干涉波形的电信号，所述干涉波形由从所述半导体激光器发射的激光和所述测定对象的返回光的自混合效应产生；信号提取单元，其在每次输入所述干涉波形时对包含在该检测单元的输出信号中的所述干涉波形的周期进行计测；周期修正单元，其通过将该信号提取单元的计测结果和基准周期进行比较对所述计测结果进行修正；计算单元，其基于由该周期修正单元修正后的各个周期，计算出所述测定对象的位移和速度中的至少一项。