[发明专利]半导体装置及背面照射型固体摄像装置

摘要

一种半导体装置及背面照射型固体摄像装置，该背面照射型固体摄像装置具有第一主面及与该第一主面对置的第二主面的半导体基板，在其第一区域形成像素部，在其第二区域形成模拟电路部，在其第三区域形成数字电路部。在半导体基板的至少第二区域的第一及第二主面上分别形成布线。将第二区域的第一及第二主面上分别形成的布线彼此电连接的贯通电极，以贯通第一及第二主面的两面的方式形成于半导体基板。包围贯通电极的保护环布线贯通第二区域的第一及第二主面的两面而形成于半导体基板。

主权项

一种背面照射型固体摄像装置，其特征在于，包括：半导体基板，具有第一主面及与该第一主面对置的第二主面，在上述半导体基板的第一区域形成像素部，在第二区域形成模拟电路部，在第三区域形成数字电路部；布线，分别形成在上述半导体基板的至少上述第二区域的上述第一及第二主面上；至少一个贯通电极，以贯通上述第一及第二主面的两面的方式形成于上述半导体基板，并将分别形成在上述第二区域的上述第一及第二主面上的上述布线彼此电连接；以及保护环布线，贯通上述第二区域的上述第一及第二主面的两面而形成于上述半导体基板，并包围上述至少一个贯通电极。