[发明专利]一种锆钛酸钡和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法

摘要

本发明涉及无机材料中的压电厚膜的制备方法，公开了一种锆钛酸钡和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法。它包括以下步骤：(1)按照BaZr0.5Ti0.95O3的化学计量比，制备锆钛酸钡先驱体溶胶；(2)按照K0.5Na0.5NbO3的化学计量比分别称取碳酸钾、碳酸钠和五氧化二铌，混合球磨、干燥、压片、烧结，再经破碎、球磨，制备微纳米级铌酸钾钠粉体；(3)将微纳米级铌酸钾钠粉体与锆钛酸钡先驱体溶胶混合，其中铌酸钾钠的质量含量为40％～70％，制备稳定的混合浆料；(4)重复旋涂工艺-热处理工艺，得到锆钛酸钡和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜。

主权项

一种锆钛酸钡和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、按照BaZr0.5Ti0.95O3的化学计量比，将醋酸钡溶解于冰醋酸中，80℃恒温磁力搅拌之后自然冷却至室温，得到醋酸钡溶液；将摩尔比为1∶2的钛酸四正丁酯和乙酰丙酮溶于乙二醇甲醚中，室温磁力搅拌之后加入四正丁氧基锆，再室温磁力搅拌之后加入醋酸钡溶液，80℃恒温磁力搅拌，之后自然冷却至室温，得到澄清的锆钛酸钡先驱体溶胶；(2)、按照K0.5Na0.5NbO3的化学计量比分别称取碳酸钾、碳酸钠和五氧化二铌，以无水乙醇为媒介混合球磨，干燥后压片，然后在1000℃下烧结4小时，得到具有钙钛矿结构的铌酸钾钠坯体，再经破碎、球磨，得到微纳米级铌酸钾钠粉体；(3)、将微纳米级铌酸钾钠粉体与锆钛酸钡先驱体溶胶混合，其中铌酸钾钠的质量含量为40％～70％，然后加入与锆钛酸钡等摩尔的聚乙烯吡咯烷酮作为稳定分散剂，球磨使之充分分散均匀，再经过磁力搅拌得到稳定的混合浆料；(4)、采用旋涂工艺将所得的稳定的混合浆料沉积在硅基底上，然后进行热处理工艺；重复上述旋涂工艺-热处理工艺，得到锆钛酸钡和铌酸钾钠复合的无铅压电厚膜。