[发明专利]基于光学微腔的集成光波导陀螺无效
| 申请号： | 201010106223.8 | 申请日： | 2010-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN101793520A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;张文栋;闫树斌;薛晨阳;丑修建;赵敏;严英占;石云波;仝晓刚 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/64 | 分类号： | G01C19/64;G02B6/28;G02B6/34 |
| 代理公司： | 山西太原科卫专利事务所 14100 | 代理人： | 朱源;骆洋 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学领域和微机电领域，具体是一种基于光学微腔的集成光波导陀螺。解决了现有光纤陀螺仪性能提高受光纤环质量限制、不利于光纤陀螺仪在高精度领域应用等问题，包括光源、分束器、由信号处理单元和两个光电探测器构成的光检测装置，还包括采用MEMS加工工艺在半导体衬底上加工得到的光学微腔、平行对称设置于光学微腔两侧的光波导，两光波导分别与光学微腔构成光波导-微腔耦合结构，分束器的两出射口分别经入射光纤与两光波导的入射端一一对应建立两路入射光路，两光波导的出射端分别经出射光纤与光检测装置中两光电探测器的输入端一一对应建立两路出射光路。本发明结构合理、简单，灵敏度高，应用范围广，能适合应用于高精度测量领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 集成 波导 陀螺 | ||
【主权项】：
一种基于光学微腔的集成光波导陀螺，包括光源(1)、分束器及由信号处理单元(2)和两个光电探测器(3、4)构成的光检测装置，光源(1)正对分束器的入射口设置，两个光电探测器(3、4)的输出端与信号处理单元(2)信号采集端相连，其特征在于：还包括采用MEMS加工工艺在半导体衬底上加工得到的光学微腔(5)、以及平行对称设置于光学微腔(5)两侧的光波导(6、7)，且两光波导(6、7)分别与光学微腔(5)构成光波导-微腔耦合结构，光学微腔(5)、光波导(6、7)设置于分束器与光检测装置之间，分束器的两出射口分别经入射光纤(8、9)与两光波导(6、7)的入射端一一对应建立两路入射光路，两光波导(6、7)的出射端分别经出射光纤(10、11)与光检测装置中两光电探测器(3、4)的输入端一一对应建立两路出射光路。
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