[发明专利]辐射热测量计及其制作方法无效
| 申请号： | 201010033317.7 | 申请日： | 2010-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN101776485A | 公开（公告）日： | 2010-07-14 |
| 发明（设计）人： | 胥超;徐永青 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 050051河北省石家庄市中国电*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种辐射热测量计及其制作方法，尤其涉及一种通过改变热敏电阻的结构而获得的一种辐射热测量计。该辐射热测量计结构中包括：基底、位于基底上方的支撑层、制作在支撑层上的下电极、下电极上制备有热敏电阻、热敏电阻上覆有上电极、上电极上制备有吸收层，其中基底和支撑层平行且有间隙地设置，上电极、下电极与热敏电阻组成串联电连接。这种结构设置使热敏电阻的阻值在大范围可调，优化了器件的性能，满足了不同应用的需求，这样将很大程度的提高了设计的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射热 测量计 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种辐射热测量计，结构中包括：基底(1)、位于基底(1)上方的支撑层(3)、制作在支撑层(3)上的下电极(4)、下电极(4)上制备有热敏电阻(5)、热敏电阻(5)上覆有上电极(6)、上电极(6)上制备有吸收层(7)，其中基底(1)和支撑层(3)平行且有间隙地设置，其特征在于：上电极(6)、下电极(4)分别由独立单元形成上电极单元组和下电极单元组，借助于设置在上、下电极之间的热敏电阻(5)形成串联电流通路。
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