[发明专利]超声波接合用工具、超声波接合用工具的制造方法、超声波接合方法及超声波接合装置有效
| 申请号： | 200980160117.3 | 申请日： | 2009-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102802817A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 吉田章男;小仓正久 | 申请（专利权）人： | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;B23K20/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供即使对于玻璃基板等板厚小于等于2mm的薄膜基体、也能顺利地将引线接合在其表面上的超声波接合用工具。而且，在本发明中，超声波接合装置所使用的超声波接合用工具(1)的尖端部分(1c)的表面部分包括：相互分离而形成的多个平面部(10)；以及形成于多个平面部之间的多个凹部(11)，多个平面部(10)分别具有小于等于2μm的平面度。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 接合 用工 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种超声波接合用工具，所述超声波接合用工具是超声波接合装置所使用的超声波接合用工具(1)，该超声波接合装置一边从上方对配置于薄膜基体(3)的表面上的被接合材料(2)进行加压，一边对其施加超声波振动，从而将所述被接合材料接合于所述薄膜基体的表面上，其特征在于，在所述超声波接合用工具的前端部，具有在进行超声波接合时与所述被接合材料相接触的尖端部分(1c)，所述尖端部分的、与所述被接合材料相接触的表面部分包括：相互分离而形成的多个平面部(10)；以及形成于所述多个平面部之间的多个凹部(11)，所述多个平面部具有小于等于2μm的平面度。
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