[发明专利]等离子体处理装置无效
| 申请号： | 200980155351.7 | 申请日： | 2009-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102293063A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 平山昌树;大见忠弘 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01L21/205;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 微波等离子体处理装置(10)具有：处理容器(100)，其用于利用微波激励气体而对基板G进行等离子体处理；输出微波的微波源(900)；传输从微波源(900)输出的微波的传输线路；设置于处理容器(100)的内表面、并向处理容器(100)内放出微波的多个电介质板(305)与多个电介质板(305)邻接并将微波传输至多个电介质板(305)的多个第一同轴管(610)；以及将在传输线路传输的微波分配并传输至多个第一同轴管(610)的同轴管分配器(600)。同轴管分配器(600)包括具有输入部(In)的第二同轴管(620)、以及与多个第一同轴管(610)连结的具有不同构成的分岔构造(B1、B2)。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置，其通过电磁波来激励气体并对被处理体进行等离子体处理，所述等离子体处理装置的特征在于，所述等离子体处理装置包括：处理容器；输出电磁波的电磁波源；传输线路，所述传输线路传输从所述电磁波源输出的电磁波；多个电介质板，所述多个电介质板设置于所述处理容器的内表面，并向所述处理容器内放出电磁波；多个第一同轴管，所述多个第一同轴管与所述多个电介质板邻接，并将电磁波传输至所述多个电介质板；以及多个同轴管分配器，所述多个同轴管分配器具有一级或二级以上的规定级数，并将在所述传输线路传输的电磁波分配并传输至所述多个第一同轴管；其中，所述多个同轴管分配器中的至少一个同轴管分配器的级数与其他同轴管分配器的级数不同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国立大学法人东北大学;东京毅力科创株式会社，未经国立大学法人东北大学;东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980155351.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种养肝明目水果药酒
- 下一篇：生态洗车液
