[发明专利]用于改善线锯切割期间的干燥度的组合物无效
| 申请号： | 200980151101.6 | 申请日： | 2009-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN102257602A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | N.纳吉布;S.格伦比尼;K.莫根伯格 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | H01L21/301 | 分类号： | H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供用于使用线锯对基材进行切片的组合物，其中该组合物包含液体载体和研磨剂。本发明进一步提供使用线锯和组合物对基材进行切片的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改善 切割 期间 干燥 组合 | ||
【主权项】：
用于使用线锯对基材进行切片的组合物，包含：(i)液体载体，其包含基于该液体载体重量的至少50重量％的水和0.1重量％至20重量％的多元醇；(ii)30重量％至60重量％的研磨剂，其悬浮于该液体载体中；和(iii)0.2重量％至10重量％的增稠剂。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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