[发明专利]含有非离子型聚合物的浆料组合物及使用方法有效
| 申请号： | 200980151100.1 | 申请日： | 2009-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102257092A | 公开（公告）日： | 2011-11-23 |
| 发明（设计）人： | S.格伦比尼;南哲佑;W.沃德;R.纳加拉詹 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的线锯切割流体组合物包含25至75重量％的颗粒研磨剂，该颗粒研磨剂悬浮于含有聚合物粘度调节剂的含水载体中，该聚合物粘度调节剂包括包含大部分的非离子型单体单元(优选包含100摩尔％的非离子型单体单元)的聚合物，具有至少5kDa的数均分子量(Mn)，且以足以为该组合物提供在25℃下在60rpm的心轴旋转速度下在50至1000cP范围内例如50至700cp的布氏粘度的浓度存在于该组合物中。在一个实施方式中，该粘度调节剂包括具有至少200kDa的重均分子量(Mw)的聚合物。当利用200kDa或更大Mw的粘度调节剂时，优选的线锯切割方法为通过在不大于104s-1的相对低的剪切速率下运行的泵和喷嘴循环和施加该切割流体。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 离子 聚合物 浆料 组合 使用方法 | ||
【主权项】：
线锯切割流体组合物，其包含25至75重量％的颗粒研磨剂，该颗粒研磨剂悬浮于含有聚合物粘度调节剂的含水载体中；其中该粘度调节剂包括以单体摩尔数计包含大部分的非离子型单体单元的聚合物，具有至少5千道尔顿(kDa)的数均分子量(Mn)，且以足以为该组合物提供在25℃下在60转/分钟(rpm)的心轴旋转速度下50至1000厘泊(cP)范围内的布氏粘度的浓度存在于该含水载体中。
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