[发明专利]金属-绝缘体-金属电容器有效
| 申请号： | 200980145905.5 | 申请日： | 2009-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN102217068A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | S·陈;J·T·瓦特;M·C·赤安 | 申请（专利权）人： | 阿尔特拉公司 |
| 主分类号： | H01L27/108 | 分类号： | H01L27/108 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 美国加尼*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种在集成电路电介质堆叠中形成的金属-绝缘体-金属电容器。提供一种线-板-线电容器，其交替包含金属板的层和包含直线或者带角度的交替极性平行线的层。提供一种分割板电容器，其具有在层内和层之间极性交替的金属板。线-板-线和分割板电容器可以呈现减少的寄生感性耦合。线-板-线电容器和金属-绝缘体-金属电容器的电容由具有竖直电场的层间电容分量的贡献比具有水平电场的水平层内电容分量的贡献大。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 绝缘体 电容器 | ||
【主权项】：
一种在集成电路中的电介质堆叠中形成的电容器，包括：具有第一极性的金属线和具有第二极性的金属线，其中所述金属线以交替极性的顺序布置；以及至少一个金属板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
