[发明专利]改进的电容传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 200980144839.X | 申请日： | 2009-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN102209892A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 苏拉娅·苏莱曼;阿古斯·桑托索·塔姆赛尔;阿兹里夫·马努特;祖兹琳达哈·穆哈迈德·阿利亚斯;阿兹丽娜·穆赫德·扎因 | 申请（专利权）人： | 马来西亚微电子系统有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;H01L21/28;G01N27/02;G01N33/18 |
| 代理公司： | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 | 代理人： | 黄泽雄;郑世奇 |
| 地址： | 马来西*** | 国省代码： | 马来西亚;MY |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量湿气和湿度的电容传感器，以及一种用于制造该电容传感器的改进的工艺。用于测量湿气和湿度的具有多层电极的电容传感器的该制备工艺包括：在多层聚酰亚胺中沉积多层交叉电极；通过剥离工艺在所述电极的表面上设置多个沟槽；以及用负性光敏聚酰亚胺覆盖所述传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 电容 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量湿气和湿度的具有多层电极的电容传感器的制备工艺，所述工艺包括：在多层聚酰亚胺中沉积多层交叉电极；通过剥离工艺在所述电极的表面上设置多个沟槽；以及用负性光敏聚酰亚胺覆盖所述传感器。
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