[发明专利]具有增进的流出物洗涤及水份控制的减排系统无效
| 申请号： | 200980144641.1 | 申请日： | 2009-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN102209583A | 公开（公告）日： | 2011-10-05 |
| 发明（设计）人： | 菲尔·钱德勒;丹尼尔·O·克拉克;弗兰克·霍史达瑞恩;丹·S·布朗;巴里·佩奇;艾伦·福克斯;乔治·L·丹森三世;杰伊·俊 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D47/06 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有增进的流出物洗涤及水份控制的减排系统，这里提供了一种改善流出物处理的设备。在一些实施例中，减排系统可以包括：排放导管，其使流出物流从其中流动通过；多个填充床，其设置在排放导管中，以从流出物流移除非可排放的流出物；一个或多个喷嘴，其设置为在相邻的填充床之间提供流出物处理剂，流出物处理剂从流出物流移除非可排放的流出物；以及滴注器，其设置在排放导管中而位于最上方填充床上方，来以大液滴提供流出物处理剂，以在基本上不会形成微细液滴的状态下润湿并冲洗最上方填充床的上表面的微粒。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 增进 流出物 洗涤 控制 系统 | ||
【主权项】：
一种减排系统，包括：排放导管，其使流出物流从其中流动通过；多个填充床，其设置在所述排放导管中，以从所述流出物流移除非可排放的流出物；一个或多个喷嘴，其设置为在相邻的填充床之间提供流出物处理剂，所述流出物处理剂从所述流出物流移除非可排放的流出物；以及滴注器，其设置在所述排放导管中而位于最上方填充床上方，来以大液滴提供所述流出物处理剂，以在基本上不会形成微细液滴的状态下润湿并冲洗所述最上方填充床的上表面的微粒。
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