[发明专利]硬质多层膜成型体及其制造方法有效
| 申请号： | 200980143061.0 | 申请日： | 2009-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN102216487A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 大平晃也;伊藤直子;佐藤洋司;筒井英之 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;B23B27/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 贾成功 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种硬质多层膜成型体及其制造方法，其中，上述硬质多层膜成型体具备与基材的密合性优异的中间层和耐磨损性优异的表面层即DLC膜，并且DLC膜和中间层之间不产生剥离，耐磨损性也优异。上述硬质多层膜成型体为在由超硬合金材料或铁系材料构成的基材的表面形成多层的膜而成的硬质多层膜成型体(1)，上述多层的膜包含(1)作为该多层的表面层(5)形成的以DLC为主体的膜、(2)在该表面层(5)和上述基材(2)之间形成的以金属系材料为主体的中间层(3)、(3)在该中间层(3)和上述表面层(5)之间形成的以碳为主体的应力缓和层(4)。该应力缓和层(4)为硬度从中间层(3)侧向表面层5侧连续或分级上升的DLC倾斜层。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 多层 成型 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种硬质多层膜成型体，其是在基材的表面形成多层的膜而成的硬质多层膜成型体，其特征在于，所述多层的膜包含：(1)作为该多层的表面层而形成的、以类金刚石碳为主体的膜；(2)在该表面层和所述基材之间形成的、以金属系材料为主体的中间层；(3)在该中间层和所述表面层之间形成的以碳为主体的应力缓和层，所述应力缓和层为其硬度从所述中间层侧向所述表面层侧连续或分级上升的倾斜层。
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