[发明专利]有机薄膜蒸镀装置、有机EL元件制造装置、及有机薄膜蒸镀方法

摘要

提供小型，处理能力高的有机薄膜蒸镀装置。在真空槽（11）的内部，设置可成为水平姿势与竖立姿势的第一、第二基板配置装置（13a、13b），在成为竖立姿势时，使保持于各个基板配置装置（13a、13b）的基板与第一、第二有机蒸气放出装置（21a、21b）面对。在一方的基板配置装置（13a、13b）为水平姿势时，由直线对准用销（15）与移载用销（16）抬起掩模与基板，与未成膜的基板进行交换并进行对位。在一台的有机薄膜蒸镀装置（10）能够同时处理二枚的基板。

主权项

一种有机薄膜蒸镀装置，其中，构成为具有：真空槽；第一、第二基板配置装置，配置在所述真空槽内，配置第一、第二基板；第一、第二掩模，分别位于所述第一、第二基板配置装置上，形成有开口；第一旋转轴，进行工作，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的水平姿势，此外，使得所述第一基板配置装置与所述第一掩模一起成为竖立设置的竖立姿势；第二旋转轴，进行工作，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为在上下方向重合的位置变成水平的所述水平姿势，此外，使得所述第二基板配置装置与所述第二掩模一起成为竖立设置的所述竖立姿势；以及第一、第二有机蒸气放出装置，设置在所述真空槽，从设置在第一、第二有机蒸气放出面的放出口使有机材料蒸气放出，通过所述第一、第二旋转轴的工作，所述第一、第二基板分别被所述第一、第二基板配置装置、和所述第一、第二掩模夹持并在所述水平姿势与所述竖立姿势之间变更姿势，所述第一、第二有机蒸气放出面分别与成为所述竖立姿势的所述第一、第二掩模面对，从所述第一、第二有机蒸气放出面的所述放出口放出的所述有机材料蒸气，通过所述第一、第二掩模的开口而到达所述成膜面。