[发明专利]用于制备锶钙复合氧化物膜的蒸镀材料无效
| 申请号： | 200980136052.9 | 申请日： | 2009-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN102159502A | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 增田彰;高崎薰;财田真人 | 申请（专利权）人： | 宇部材料工业株式会社 |
| 主分类号： | C01F11/06 | 分类号： | C01F11/06;C01B13/34;C23C14/24;C23C14/30;H01J9/02;H01J11/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 庞立志;高旭轶 |
| 地址： | 日本国山*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 由通式以Sr1-xCaxO(其中，x为0.2~0.8的范围的值)表示的平均结晶粒径在1.0~90μm的范围的锶钙复合氧化物结晶粒子的多晶体形成的，平均细孔直径在0.01~0.50μm的范围的用于锶钙复合氧化物膜制备的蒸镀材料。本发明的蒸镀材料，其自身对水蒸气、二氧化碳气体的吸附性或与它们的反应性低，因而没有必要特别用被覆材料被覆表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制备 复合 氧化物 材料 | ||
【主权项】：
用于锶钙复合氧化物膜制备的蒸镀材料，其由通式以Sr1‑xCaxO(其中，x为0.2~0.8的范围的值)表示的平均结晶粒径在1.0~90μm的范围的锶钙复合氧化物结晶粒子的多晶体形成，且平均细孔直径在0.01~0.50μm的范围。
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