[发明专利]涂覆体系、涂覆的工件及其生产方法有效
| 申请号: | 200980135916.5 | 申请日: | 2009-07-03 |
| 公开(公告)号: | CN102149844A | 公开(公告)日: | 2011-08-10 |
| 发明(设计)人: | M·莱赫塔勒 | 申请(专利权)人: | 欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫) |
| 主分类号: | C23C14/00 | 分类号: | C23C14/00;C23C14/06;C23C28/04 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 徐晶;艾尼瓦尔 |
| 地址: | 瑞士特*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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| 摘要: | 涂覆体系包括:至少一个A型层,A型层基本由(AlyCr1-y)X组成,其中X描绘由N、CN、BN、NO、CNO、CBN、BNO和CNBO组成的群组中的一种,y描述金属相部分的化学计量组成;和至少一个B型层,B型层基本由(AluCr1-u-v-wSivMew)X组成,其中X描绘由N、CN、BN、NO、CNO、CBN、BNO或CNBO组成的群组中的一种,且其中Me描绘由W、Nb、Mo和Ta组成的群组中的一种或所述群组中两种或更多种组分的混合物,u、v和w描述金属相部分的化学计量组成。所述A型层与所述B型层的厚度比高于1。所述工件包括所述涂覆体系。通过此,提供优良的磨损防护,且可将所述涂覆体系和工件用于大量不同应用中。在PVD方法中使用两种类型的靶可非常有效地沉积涂覆体系,其中在沉积A型层期间和在沉积B型层期间一种类型的靶是活性的。 | ||
| 搜索关键词: | 体系 工件 及其 生产 方法 | ||
【主权项】:
涂覆体系,其包括至少一个A型层,A型层基本由(AlyCr1‑y)X组成,其中X描绘由N、CN、BN、NO、CNO、CBN、BNO和CNBO组成的群组中的一种,y描述金属相部分的化学计量组成;至少一个B型层,B型层基本由(AluCr1‑u‑v‑wSivMew)X组成,其中X描绘由N、CN、BN、NO、CNO、CBN、BNO或CNBO组成的群组中的一种,且其中Me描绘由W、Nb、Mo和Ta组成的群组中的一种或所述群组中两种或更多种组分的混合物,u、v和w描述金属相部分的化学计量组成;其中所述A型层与所述B型层的厚度比高于1。
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