[发明专利]用于沉积陶瓷膜的方法

摘要

本发明涉及用于在陶瓷或金属表面上沉积陶瓷膜的方法，尤其是沉积亚微米厚度的陶瓷膜的方法，陶瓷膜诸如稳定的氧化锆和诸如CGO(铈钆氧化物)的掺杂的二氧化铈的膜。本发明尤其用于制造高温和中温运行的燃料电池，包括固体氧化物燃料电池(SOFC)且还有在450℃-650℃范围内运行的金属支撑的中温SOFC。

主权项

一种用于在衬底的表面上沉积至少一层金属氧化物结晶陶瓷的方法，所述方法包括下述步骤：(i)将金属氧化物结晶陶瓷的可溶性盐前体溶液沉积到所述衬底的所述表面上以定义所述表面上的一层所述可溶性盐前体的所述溶液，所述表面选自由下述表面组成的组：金属表面和陶瓷表面；(ii)干燥所述可溶性盐前体的所述溶液以定义所述表面上的一层所述可溶性盐前体；(iii)将所述表面上的所述可溶性盐前体加热至150℃到600℃之间的温度以分解所述可溶性盐前体并在所述表面上形成一层金属氧化物；(iv)重复步骤(i)‑(iii)至少另外一次，将所述可溶性盐前体的所述溶液沉积到所述金属氧化物膜上，使得所述表面上的所述金属氧化物膜包括多个金属氧化物层；以及(v)在500℃‑1100℃的温度下，将所述衬底和所述表面上的所述金属氧化物膜一起烧制以使所述金属氧化物膜结晶成结合到所述衬底的所述表面的一层金属氧化物结晶陶瓷，所述至少一层金属氧化物结晶陶瓷的厚度遍布所述衬底的所述表面是可变的，其中在空气气氛中实施步骤(ii)、(iii)和(v)中的每一个。