[发明专利]玻璃基板再生装置有效
| 申请号： | 200980130832.2 | 申请日： | 2009-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN102112244A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 濑川达弥;浅井究;中西俊介;茅根博之;铃木充 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | B09B3/00 | 分类号： | B09B3/00;G02B5/20;G02F1/13;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 玻璃基板再生装置(10)是对以大致水平支撑的状态由搬运装置搬运的基板进行再生处理的装置，朝向不良基板的搬运方向依次具备第1碱性液处理部(12)、酸性液处理部(14)以及第2碱性液处理部(16)。第1碱性液处理部(12)向从基板搬入部(11)所搬入的不良基板喷射碱性液，剥离最上层的树脂层。酸性液处理部(14)向由喷淋水洗部(13)淋洗完的不良基板喷射酸性液，剥离中间层的金属层。第2碱性液处理部(16)向由喷淋水洗部(15)淋洗完的不良基板喷射碱性液，剥离最下层的树脂层。根据玻璃基板再生装置(10)，可在短时间内完成玻璃基板(2)的再生处理，亦可抑制玻璃基板(2)的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 再生 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板再生装置，一面搬运在玻璃基板上形成有1层以上的、含有树脂及金属的任一种的层的不良基板，一面从上述不良基板再生上述玻璃基板，该装置至少具有：第1碱性液处理部，用碱性液处理上述不良基板，并将位于上述不良基板的表面的第1树脂层剥离；第1酸性液处理部，设置于上述第1碱性液处理部的下游，用酸性液处理上述不良基板，并将位于上述不良基板的表面的金属膜剥离；第2碱性液处理部，设置于上述酸性液处理部的下游，用碱性液处理上述不良基板，并将位于上述玻璃基板的表面的第2树脂层剥离。
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