[发明专利]气体检测设备

摘要

本发明涉及一种包括激光传感器单元（100）的气体检测设备（200）。激光传感器单元（100）适于发射激光，该激光适于由要检测的气体（50）至少部分地吸收。激光传感器单元（100）还适于基于激光传感器单元（100）的有源腔（10）内的自混合干涉（SMI）产生测量数据。该测量数据受要检测的气体对激光的吸收的影响，并且提供分析电路（120）以便基于从激光传感器单元（100）接收的测量数据确定要检测的气体（50）的存在性和/或浓度。

主权项

一种气体检测设备（200），包括至少一个激光传感器单元（100）、驱动电路（110）和分析电路（120），‑ 激光传感器单元包括至少一个有源腔（10）、电极（40）、至少一个光学反馈结构（30）、检测体积和至少一个检测器（20），有源腔（10）包括夹在第一反射结构（4）与第二反射结构（2）之间的有源层（3），第一反射结构（4）具有比第二反射结构（2）更高的反射率，电极（40）适于将电流注入有源层（3），检测器（20）耦合到有源腔（10），检测体积设置在第二反射结构（2）与光学反馈结构（30）之间，并且检测体积适于包含要检测的气体（50），‑ 驱动电路（110）电耦合到电极（40）并且驱动电路（110）适于电泵浦有源腔（10），使得第一光经由第二反射结构（2）发射到检测体积内并且第一光的至少一部分适于由要检测的气体（50）的吸收带吸收，‑ 光学反馈结构（30）被设置成散射或反射通过检测体积的第一光（7），使得它重新进入有源腔（10），‑ 重新进入有源腔（10）的散射或反射的第一光（8）为第二光，该第二光根据在检测体积中要检测的气体（50）对第一光（7，8）的吸收而造成有源腔（10）中的激光功率的变化，‑ 检测器（20）适于产生与有源腔（10）中的激光功率有关的测量数据，‑ 检测器（20）耦合到分析电路（120）并且分析电路（120）适于基于从检测器（20）接收的测量数据确定要检测的气体（50）的存在性和/或浓度。