[发明专利]具有聚焦互连的图像传感器

摘要

一种图像传感器(100)包括在集成电路的衬底(101)中形成的感光区域(102、104、106)。该衬底具有在衬底的表面上形成的第一金属层(m1)，因此该第一金属层限定具有第一孔宽度的第一孔，入射光在照射该感光区域之前穿过该第一孔。该第一孔宽度等于或小于位于该第一孔下方的感光区域的宽度。该衬底还具有在该第一金属层上形成的第二金属层(tn2)。第二孔的第二孔宽度比该第一孔宽度宽。第一孔和第二孔将入射光聚焦于该感光区域之上。

主权项

一种图像传感器，包括：具有接收入射光的表面的衬底；以及在所述衬底上及所述衬底内形成的像素阵列，所述像素阵列包括像素，每个像素包括：感光区域，所述感光区域具有形成于所述衬底中的传感器区域；隔离区域，所述隔离区域在围绕所述感光区域的区域中形成，且毗邻于毗邻像素的隔离区域；在所述衬底的表面上形成的第一金属层，所述第一金属层限定具有第一孔面积的第一孔，所述入射光在照射感光区域之前穿过所述第一孔；以及在所述第一金属层上形成的第二金属层，所述第二金属层限定具有第二孔面积的第二孔，所述第二孔面积大于所述第一孔面积，其中所述第一孔和所述第二孔将所述入射光聚焦到所述感光区域上并远离隔离区域。