[发明专利]石英玻璃坩埚及其制造方法无效
| 申请号： | 200980109021.4 | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN101970727A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 原田和浩;佐藤忠广 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 孟锐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种石英玻璃坩埚及其制造方法，其可充分兼顾促进硅单晶提拉时的内表面的结晶化与维持坩埚的强度。石英玻璃坩埚10的特征在于：在至少直体部(10A)的自坩埚内表面起算的0.3mm～3mm的区域中所含的OH基浓度以及OH基浓度梯度越接近坩埚内表面则越大，而越远离坩埚内表面则越小。该石英玻璃坩埚是通过如下方法制造，即，在将沿着旋转的塑模的内表面堆积的石英粉加热熔融而使之玻璃化来制造玻璃坩埚的方法中，可在熔融时或熔融结束后立即导入包含水蒸汽的空气，或者可在熔融冷却后再次在包含水蒸汽的环境下进行热处理。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 坩埚 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种石英玻璃坩埚，其特征在于包含直体部、角部及底部；且在至少所述直体部的一部分中，自坩埚的内表面起算的0.3mm～3mm区域中所含的OH基浓度以及OH基浓度梯度越接近所述内表面则越大，越远离所述内表面则越小。
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