[发明专利]利用超短脉冲激光的透明材料加工

摘要

本发明公开了用于光学透明材料的超短脉冲激光加工的方法、设备和系统，具有划片、标记、焊接和连接的示例应用。例如，超短激光脉冲用单程激光束穿过材料形成划片结构，其中所述划片结构中的至少一个形成在材料的表面之下。稍微改变超短脉冲激光加工条件产生亚表面标记。当适当设置时，这些标记用正确对准的照明清晰可见。通过控制激光参数还可以形成反射标记。可以采用除玻璃外的透明材料。一种用于焊接透明材料的方法使用超短激光脉冲来形成通过局部加热的结合。在透明材料加工的一些实施例中，多焦点光束发生器同时形成相对于透明材料的在深度上间隔的多个光束腰，从而增大加工速度。

主权项

一种用于在透明材料的表面之下产生激光改性结构的图案的方法，包括利用紧密聚焦的超短激光脉冲在材料内的不同深度处形成多条线；通过控制所述激光的参数来控制所述线的粗糙度；和利用大体垂直于所述线传播的光照射所述线。