[发明专利]超声换能器探头及其制造系统和方法无效
| 申请号： | 200980105489.6 | 申请日： | 2009-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN101952052A | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | P·辛赫;M·K-F·李;J·A·布鲁尔;P·A·迈尔;T·J·巴青格尔;V·S·文卡塔拉马尼;J·N·巴兴格;E·W·巴尔赫 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;G01H11/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱海煜;徐予红 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开一种用于制作超声换能器结构的方法。该方法包括重复执行以下步骤：形成包含超声换能器材料和光聚合物的功能层；以及将功能层的多个选定区域曝露至可编程光图案来固化功能层的选定区域，以便形成聚合超声换能器材料区域。该方法还包括：选择性地移除功能层的未曝露区域以获得素坯组件；以及烧结素坯组件以获得传感结构。还公开一种用于制造至少一个压电元件的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 探头 及其 制造 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制作传感结构的方法，所述方法包括以下步骤：(a)形成包含超声换能器材料和光聚合物的功能层；(b)将所述功能层的多个选定区域曝露至可编程光图案来固化所述功能层的所述选定区域，以便形成聚合超声换能器材料区域；(c)重复步骤(a)和(b)；(d)选择性地移除所述功能层的未曝露区域以获得素坯组件；以及(e)烧结所述素坯组件以获得所述传感结构。
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