[发明专利]检测无约束等离子事件的系统

摘要

披露了用于在等离子处理室中检测无约束等离子事件的系统。该系统可包括置于等离子处理室中的传感器，其用于在该等离子处理室中存在无约束等离子时提供电流。该系统还可包括用于将电流转换为电压的转换器，以及包括去除电压中的噪声以提供第一信号的滤波器。该系统还包括检测器，其用于采用该第一信号的放大信号和/或该第一信号确定该无约束等离子的存在。该系统还可包括导线，其用于耦合该传感器和该转换器，以将电流从该传感器传导至该转换器。该系统还可包括屏蔽，其用于围绕该导线的至少一部分，从而至少减少该导线接收的电磁噪声。

主权项

用于在等离子处理室中检测无约束等离子事件的系统，该系统包括：传感器，其设置于该等离子处理室中，该传感器配置为在该等离子处理室中存在无约束等离子时提供电流；转换器，其配置为将该电流转换为电压；滤波器，其配置为从该电压去除噪声以提供第一信号；检测器，其配置为使用输入信号确定该无约束等离子的存在，该输入信号包括该第一信号和该第一信号的放大信号中的至少一个；导线，配置为耦合该传感器和该转换器，该导线配置为将电流从该传感器传导至该转换器；以及屏蔽，其配置为围绕该导线的至少一部分，从而至少减少该导线接收的电磁噪声。