[发明专利]利用重复图像的FPD基板及半导体晶片检查系统

摘要

本发明涉及利用重复图像的FPD基板及半导体晶片检查系统，更详细地说，涉及如下的利用重复图像的FPD基板及半导体晶片检查系统：针对埋在平板显示面板内或存在于表面、或者从表面突出的微粒，通过一次扫描获取重复的2张以上的图像，从而可通过检查一次即可按照类别检测出大部分的缺陷及异物。

主权项

1.一种利用重复图像的FPD基板及半导体晶片检查系统，该检查系统对摄像机拍摄到的图像进行分析，其特征在于，所述检查系统包括：至少一个以上的第一照明单元，其设置在与上述摄像机对应的方向，用于供给摄像机进行拍摄所需的光量：至少一个以上的第二照明单元，其设置在与上述摄像机并排的方向，用于供给摄像机进行拍摄所需的光量：反射镜，其使从上述第一照明单元供给的光以一定角度折射，照射到平板显示面板或半导体晶片；至少一个以上的摄像机，其设置于平板显示面板或半导体晶片的上侧，对从至少一个以上的第一照明单元供给的光被平板显示面板或半导体晶片反射而生成的反射光进行拍摄，或者对从至少一个以上的第二照明单元供给的光被存在于平板显示面板或半导体晶片的微粒反射而生成的反射光进行拍摄；以及检查控制器，其用于使上述至少一个以上的第一照明单元、至少一个以上的第二照明单元及摄像机进行工作，接收从摄像机输出的拍摄数据的图像，并对图像进行校正，该检查控制器还包括：脉冲生成部，其生成脉冲信号；同步信号生成部，其根据上述脉冲生成部生成的脉冲信号，生成同步信号；工作信号生成部，其与上述同步信号生成部生成的同步信号同步地输出用于使照明单元工作的工作信号；图像分析部，其接收从摄像机输出的拍摄数据的图像，根据照明单元的光源来分析重复的扫描图像；奇数扫描图像加法部，其仅提取经上述图像分析部分析的重复扫描图像中的奇数扫描行，并进行汇总；偶数扫描图像加法部，其仅提取经上述图像分析部分析的重复扫描图像中的偶数扫描行，并进行汇总；扫描加法图像输出部，其将通过上述奇数扫描图像加法部和偶数扫描图像加法部汇总的各个扫描图像输出；以及中央控制部，其对上述脉冲生成部、同步信号生成部、工作信号生成部、图像分析部、奇数扫描图像加法部、偶数扫描图像加法部、以及扫描加法图像输出部的整体工作进行控制。