[实用新型]一种线切割机

摘要

一种线切割机，涉及一种硅片切割设备，包括支撑平台、夹紧装置、升降装置、切割总成和冷却系统构成，夹紧装置设置在支撑平台上，在夹紧装置上方设有切割总成，切割总成设置在升降装置上，所述的升降装置通过下端设置的液压油缸驱动，本实用新型其切割效率高，该机切割辊轮挂线999根以上，一次可同时切1000片；每批次所需切割时间仅为10～15分钟(含放、取料时间)，切割效率是目前主流机型切割效率的数十倍；所切片数是目前所用(光)线切割机的200％；切割后的硅片质量较好，而且在生产过程环保、能耗低，而且使得产品质量和精度均得到提升。

主权项

一种线切割机，包括机架(9)、支撑平台(1)、升降装置(3)、液压系统、抽真空系统、冷却系统和电机(8)，其特征是：在支撑平台(1)上设有切割总成(4)、夹紧装置(2)和张紧机构(34)，切割总成(4)由一个主动辊轮(11)和两个从动辊轮(12)及两端的固定端板(10)构成，主动辊轮(11)与两个从动辊轮(12)呈三角形设置，在主动辊轮(11)和从动辊轮(12)上均布设有独立的线槽，每一个线槽绕辊轮圆周面一周，并垂直于辊轮的轴线，且主动辊轮(11)与从动辊轮(12)设置的线槽相对应，切割线(13)环绕在主动辊轮(11)和从动辊轮(12)的线槽内，张紧机构(34)设置在切割线(13)的一个侧面上，所述的夹紧机构(2)主要由驱动机构和夹紧平台(19)构成，其夹紧平台(19)呈中空结构，在夹紧平台(19)的上板面上，均匀设有多个细孔，在夹紧平台(19)的侧板上，设有与真空泵(22)连接管路。