[实用新型]三氯氢硅合成炉

摘要

本实用新型公开了一种三氯氢硅反应炉，其炉体包括上部的扩大段和下部的反应段，反应段设置有内换热器和加热器，反应段与炉体底部之间设置有喷嘴和固定喷嘴的喷嘴管板，所述内换热器的换热管分成内管和外管，所述内管和外管采用整根钢管弯制，外管的末尾管端为对接焊缝形成的实心锥形堵头，且堵头的外直径大于换热管的外直径，能有效防止硅粉沸腾冲刷管端，延长内换热器使用寿命；采用该结构的本实用新型，单台设备日生产能力在7-11吨之间，正常产量在8吨以上，并且使用寿命较长。

主权项

三氯氢硅反应炉，其炉体包括上部的扩大段(1)和下部的反应段(2)，反应段(2)设置有内换热器和加热器(3)，反应段(2)与炉体底部之间设置有喷嘴(9)和固定喷嘴的喷嘴管板(10)，所述内换热器的换热管分成内管(4)和外管(5)，其特征在于：所述内管(4)和外管(5)采用整根钢管弯制，外管(5)的末尾管端为对接焊缝形成的实心锥形堵头(6)，且堵头(6)的外直径大于换热管的外直径。