[实用新型]一种具有高质量提纯多晶硅的多晶炉

摘要

一种组合式高效多晶硅炉，设有炉体，炉体的上部设有炉门，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，保温笼设有隔热底板、侧隔热板、隔热上盖，在保温笼内设有四周加热器和下加热器，下加热器设置在承接台与保温笼的隔热底板之间，在保温笼隔热底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板，保温笼的隔热上盖与炉体的炉门固定连接，在炉门的中部设有观察窗，在观察窗的侧部设有惰性气体吹气管，在保温笼的隔热上盖上设有与观察窗相通的观察孔、与惰性气体吹管相通的吹气孔。长晶时先开启热门，由下加热器、四周加热器和冷却板组成一个新的温度场，同时向炉内吹惰性气体，保证了晶体生长质量，也缩短整个工艺时间，能耗低。

主权项

一种具有高质量提纯多晶硅的多晶炉，设有炉体，炉体的上部设有炉门，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，保温笼设有隔热底板、侧隔热板、隔热上盖，其特征在于：在保温笼内设有四周加热器和下加热器，下加热器设置在承接台与保温笼的隔热底板之间，在保温笼隔热底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板，保温笼的隔热上盖与炉体的炉门固定，在炉门的中部设有观察窗，在观察窗的侧部设有惰性气体吹气管，在保温笼的隔热上盖上设有与观察窗相通的观察孔、与惰性气体吹管相通的吹气孔。