[实用新型]一种电子轰击式离子源放电室有效
| 申请号： | 200920217105.7 | 申请日： | 2009-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN201508820U | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 冯毓材 | 申请（专利权）人： | 冯毓材 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人： | 吴立 |
| 地址： | 北京市朝阳区南沙*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电子轰击式离子源放电室，设有环绕放电室的磁体(2)，放电室纵向后端设有阴极(14)，磁体后部设有延伸到阴极侧部的后极靴(1)，中部设有向纵向中心轴线方向延伸的中极靴(3)，前部设有向纵向中心轴线方向延伸的前极靴(5)，放电室里设有杯体形阳极(9)，其环形侧壁位于中极靴、前极靴极尖内侧，底面位于后侧，阴极(14)前端穿过杯体形阳极底面设置的中心孔(9a)，伸进阳极的杯形放电空腔，杯体形阳极的环形底内设有带冷却液入口和出口的冷却液腔(13)。本装置可降低离子源放电室内的温度，保证磁场性能的稳定和磁场分布的均匀，同时杯体形阳极为一体化结构，便于装卸、清洗、维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 轰击 离子源 放电 | ||
【主权项】：
一种电子轰击式离子源放电室，设有环绕放电室的磁体(2)、放电室纵向后端设有阴极(14)，磁体(2)后部设有延伸到阴极侧部的后极靴(1)，中部设有向纵向中心轴线方向延伸的中极靴(3)，前部设有向纵向中心轴线方向延伸的前极靴(5)，其特征在于：放电室里设有杯体形阳极(9)，其环形侧壁位于中极靴、前极靴极尖内侧，底面位于后侧，阴极(14)前端穿过杯体形阳极底面设置的中心孔(9a)，伸进阳极的杯形放电空腔，杯体形阳极的环形底内设有带冷却液入口和出口的冷却液腔(13)。
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