[实用新型]超纯水过滤系统有效
| 申请号： | 200920209613.0 | 申请日： | 2009-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN201506741U | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 施灵;莫少文;徐晓敏;陈尧 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/08 | 分类号： | C02F9/08;C02F1/32;C02F1/44;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种沉浸式光刻机的超纯水过滤系统，包括：一个超纯水进口和一个超纯水出口、串连在所述的超纯水进口和超纯水出口之间的多个紫外光灯，其特征在于：还包括用于当所述的紫外光灯不能正常使用时将该紫外光灯短接的控制器。本实用新型能够单独更换紫外光灯，而无需关闭整个沉浸式光刻机而导致设备无法继续生产。避免因更换紫外光灯而导致需要较长时间恢复。 | ||
| 搜索关键词： | 超纯水 过滤 系统 | ||
【主权项】：
一种超纯水过滤系统，包括：一个超纯水进口和一个超纯水出口、串连在所述的超纯水进口和超纯水出口之间的多个紫外光灯，其特征在于：还包括用于当所述的紫外光灯不能正常使用时将该紫外光灯短接的控制器。
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