[实用新型]一种新型磁控溅射圆柱靶无效
| 申请号： | 200920205479.7 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201778105U | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 王宇;张强 | 申请（专利权）人： | 深圳市振恒昌实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种新型磁控溅射圆柱靶，包括靶头和靶体，所述靶头连接靶体上，靶头包括固定在上支板上的感应式电动机，上支板另一侧由支撑柱连接法兰盘，上支板和法兰盘之间通过旋转主轴连接，连轴套、外侧的推力球轴承、分水器和穿过并套接于旋转主轴外的空心轴顺次连接，空心轴穿过并固定于法兰盘的中间孔上，法兰盘另一侧固定有屏蔽罩套于空心轴外侧；所述靶体包括磁轴和靶材，所述磁轴由导水管和导水管外侧的导磁体及磁铁组成，其特征是：所述法兰盘是靶头各部件的载体，法兰盘一侧有绝缘垫，另一侧有绝缘密封套：本实用新型对现有结构进行了优化，提高了靶材的溅射速率和靶材利用率，改善了磁控溅射圆柱靶的水冷效果，制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 磁控溅射 圆柱 | ||
【主权项】：
一种新型磁控溅射圆柱靶，包括：靶头和靶体，所述靶头连接靶体上，靶头包括固定在上支板上的感应式电动机(1)，上支板(2)另一侧由支撑柱(31)连接法兰盘(15)，上支板(2)和法兰盘(15)之间的通过旋转主轴连接，连轴套(4)、外侧的推力球轴承(7)、分水器(9)，和穿过并套接于旋转主轴(11)外的空心轴(19)顺次连接，空心轴(19)穿过并固定于法兰盘(15)的中间孔上，法兰盘(15)另一侧固定有屏蔽罩套(18)于空心轴(19)外侧；所述靶体包括磁轴和靶材(28)，所述磁轴由导水管(21)和导水管(21)外侧的导磁体及磁铁组成，其特征是：所述法兰盘(15)是靶头各部件的载体，法兰盘(15)内装有密封圈(29)和绝缘密封套(16)：所述磁轴由导水管(21)和导磁体及磁铁组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市振恒昌实业有限公司，未经深圳市振恒昌实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920205479.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种近海深基坑桩墙合一围护结构
- 下一篇：一种渠道衬砌板及其连接件
- 同类专利
- 专利分类
