[实用新型]光学测量装置无效
| 申请号: | 200920175322.4 | 申请日: | 2009-08-25 |
| 公开(公告)号: | CN201488713U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
| 发明(设计)人: | 欧阳弘道;钟锦铭 | 申请(专利权)人: | 新朔光电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/255 | 分类号: | G01B11/255;G01B11/30;G01M11/00 |
| 代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本实用新型为一种光学测量装置,其是将干涉仪与反射镜组同轴设置于一座体上,而座体上垂直连接于一支撑架,支撑架中间设有一滑轨,以供一调整座设置并做上下移动的动作,而支撑架侧边设有对应滑轨的光学尺,用以测量调整座的一移动距离值。调整座对应于反射镜组,反射镜组接收干涉仪输出的光讯号,并将其反射至调整座上的待测物,以产生一干涉条纹影像,并由显示器镜组显示移动距离值与干涉条纹影像。 | ||
| 搜索关键词: | 光学 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种光学测量装置,其特征在于,包括:一座体;一支撑架,垂直连接于该座体上,该支撑架具有一滑轨与一光学尺;一调整座,设置于该支撑架的该滑轨上,且连接于该光学尺,该调整座利用该滑轨做上下移动的动作,并由该光学尺测量该调整座的一移动距离值,该调整座具有多个调整件及一平台,多个该调整件用以调整该平台的角度,该平台提供一待测物置放;一干涉仪,设置于该座体上,并提供一光讯号;一反射镜组,与该干涉仪同轴设置于该座体上,且对应该调整座的该平台,该反射镜组接收该干涉仪输出的光讯号,并将其反射至该待测物以产生一干涉条纹影像;及一显示器组,显示该移动距离值与该干涉条纹影像。
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