[实用新型]蚀刻工具装置无效
| 申请号： | 200920165754.7 | 申请日： | 2009-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN201512582U | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 黄茂连 | 申请（专利权）人： | 黄茂连 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 王月玲;武玉琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蚀刻工具装置，包括一内壳体及一外壳体，该内壳体为中空柱筒状，该内壳体内的中空空间形成一排液孔，该内壳体的底面为一内底面；该外壳体为中空柱筒状，该外壳体套设于该内壳体之外，该外壳体的内径大于该内壳体的外径，该外壳体与该内壳体之间的间隙形成一供液孔，该供液孔底部向下并向外延伸形成一喷射口，该外壳体的底面为一外底面，该内底面的水平位置高于该外底面。本实用新型可以利用蚀刻液轻易地对基板进行斜向蚀刻，形成与基板表面呈斜角的沟槽，可缩短蚀刻液在该基板表面的停留时间，提高蚀刻方向的对比性。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 工具 装置 | ||
【主权项】：
一种蚀刻工具装置，其特征在于包括：一内壳体，该内壳体为中空柱筒状，该内壳体内的中空空间形成一排液孔，该内壳体的底面为一内底面；以及一外壳体，该外壳体为中空柱筒状，该外壳体套设于该内壳体之外，该外壳体的内径大于该内壳体的外径，该外壳体与该内壳体之间的间隙形成一供液孔，该供液孔底部向下并向外延伸形成一喷射口，该外壳体的底面为一外底面，该内底面的水平位置高于该外底面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄茂连，未经黄茂连许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920165754.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：变频传动牵引装置
- 下一篇：客车地热板热能传感器
