[实用新型]一种阳极层线性离子源

摘要

本实用新型属于离子束，具体涉及一种适用于离子束清洗和离子束刻蚀的阳极层线性离子源。它包括阴极底板，阴极底板上固定有阴极框，阴极框的顶部固定有阴极外顶板和阴极内顶板，所述的阴极外顶板与阴极内顶板之间设有一开口，阴极内顶板与阴极底板之间设有磁钢，在磁钢的两侧分别设有水冷阳极。本实用新型的优点是，在环形阳极和放电槽置通过绝缘紧固件把阳极悬浮屏蔽罩与阴极和阳极绝缘开。由于悬浮电位的存在，能有效的减少在放电槽内的有害放电。在放电槽内磁钢两侧增加挡板，减少放电对磁钢的损害，消除了磁钢退磁的隐患。

主权项

1.一种阳极层线性离子源，它包括阴极底板(1)，阴极底板(1)上固定有阴极框(2)，阴极框(2)的顶部固定有阴极外顶板(4)和阴极内顶板(8)，其特征在于：所述的阴极外顶板(4)与阴极内顶板(8)之间设有一开口，阴极内顶板(8)与阴极底板(1)之间设有磁钢(9)，在磁钢的两侧分别设有水冷阳极(6)。