[实用新型]多晶硅棒热力学破碎装备无效
申请号: | 200920148006.8 | 申请日: | 2009-04-07 |
公开(公告)号: | CN201473321U | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 陈军红;王正青;薛春芳 | 申请(专利权)人: | 宝鸡宝色特种金属有限责任公司 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02;B02C19/18 |
代理公司: | 宝鸡市新发明专利事务所 61106 | 代理人: | 席树文 |
地址: | 721013 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型属于材料加工技术领域中一种多晶硅棒热力学破碎装备,它包括:采用热力学的方法使多晶硅棒升温的加热装置和采用骤冷介质使热态硅棒急剧降温的骤冷装置。本装备破碎任何方法制得的多晶硅棒时不产生细微离子。破碎过程中不会引起铁、铬、镍等金属离子的污染。适合于大批量的企业化生产。 | ||
搜索关键词: | 多晶 热力学 破碎 装备 | ||
【主权项】:
多晶硅棒热力学破碎装备,其特征是包括:A.采用热力学的方法使多晶硅棒升温的加热装置(2);B.采用骤冷介质使热态硅棒急剧降温的骤冷装置(1);所述的加热装置(2)包括封闭的炉体(9),炉体(9)内装有电加热体且其上连接有向其内引入保护惰性气体的保护气体分布装置(7),在炉体(9)中部固定用于放置硅棒转移料框(3)的封闭的保护内胆(5);所述的骤冷装置(1)包括一个用于放置或支撑硅棒转移料框(3)的框架(11),骤冷液控制系统(8)安装于框架(11)中且骤冷液控制系统(8)具有喷嘴和控制骤冷液温度、流量参数的控制机构。
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