[实用新型]MEMS电容麦克风有效
| 申请号： | 200920135933.6 | 申请日： | 2009-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN201403199Y | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R7/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，所述振膜包括固定部和与固定部连接的振动部，在所述振膜的中心设置有孔，自该孔向振膜的固定部方向设置有至少两个槽，所述槽与所述孔相通。该种麦克风灵敏度好。 | ||
| 搜索关键词： | mems 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
1、一种MEMS电容麦克风，包括基底、平行于基底的背板、与背板相对形成电容效应的振膜，所述振膜包括固定部和与固定部连接的振动部，其特征在于：在所述振膜的中心设置有孔，自该孔向振膜的固定部方向设置有至少两个槽，所述槽与所述孔相通。
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