[实用新型]一种石墨埚邦无效
申请号: | 200920101829.5 | 申请日: | 2009-03-10 |
公开(公告)号: | CN201362758Y | 公开(公告)日: | 2009-12-16 |
发明(设计)人: | 张勇 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 石家庄科诚专利事务所 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石墨埚邦,包括邦壁1、邦底2,在邦壁1外侧面与邦底2的交汇处设置有与邦底2连为一体的凸起外延环3,外延环3外侧面由邦壁1外侧面自然延伸,外延环3内侧面与外延环3外侧面平行设置且通过三角形或U型的外延环3端部相接。当硅液汽化体或硅液外渗后受重力和石墨的浸润作用时,硅液汽化体或外渗硅液将通过邦壁的外表面向邦底流到外延环的末端滴落,保证邦底埚杆不会粘连。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 | ||
【主权项】:
1、一种石墨埚邦,包括邦壁(1)和邦底(2),其特征在于:在邦壁(1)外侧面与邦底(2)的交汇处设置有与邦底(2)连为一体的凸起外延环(3),外延环(3)包括外侧面和内侧面。
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